メールマガジン配信中。ご登録はお問い合わせから

ー 科学と技術で産業を考える ー

ことラボ・レポート

各社からのニュース

THK/「半導体製造装置(縦型炉)向けの地震対策に、新型免震台の受注を開始~中小地震から大地震までワイドレンジに対応する新機構を搭載~」

NEW! 2024 年 10 月 31 日

 THK株式会社(代表取締役社長:寺町 崇史)が、半導体製造装置向けの地震対策として新型の免震台「縦型炉用新型免震台」を開発し、10 月より受注を開始する。
 「縦型炉用新型免震台」は、中小地震(およそ震度3~5弱)では縦型炉内にあるウェハーの欠陥の低減、大地震(およそ震度5強以上)では縦型炉本体と石英パーツを保全することで、幅広い地震動に対応が可能な免震台となっている。

詳しくはこちら